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一束白光(或多波长混
合光)经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上,色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,
部分反射光反射回去
没有照射在光轴与物体
表面交点的光经过分光部件,照射在另一个小孔周围被阻挡,无法照射到光谱分析仪,不会干扰测量照射在光轴与物体表面
交点的光经过分光部件,通过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜
头到被测物距离
光谱共焦原理的优点:
可以测量多种表面:镜面、寵曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。
无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。
高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。
温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米测量,温漂是关键。
自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动吋都有相应的波长的光聚焦到物体表面。
横向分辨率高:从上到下总是在焦点上,测量光斑均微小,能分辨被测物上的微小轮廓变化。
无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。
高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。
温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米测量,温漂是关键。
自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动吋都有相应的波长的光聚焦到物体表面。
横向分辨率高:从上到下总是在焦点上,测量光斑均微小,能分辨被测物上的微小轮廓变化。
模块化小型化:镜头和控制器可以通过光纤连接,传输距离远,镜头可以做得很小,便于并排安装。
调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。
透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。
全息性:理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。
安全性高:寿命长的led光源,微小功率的白光,比激光对人眼安全,不受限于激光危害等级。
高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防止虫害鼠咬。
调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。
透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。
全息性:理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。
安全性高:寿命长的led光源,微小功率的白光,比激光对人眼安全,不受限于激光危害等级。
高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防止虫害鼠咬。