可以测量多种表面：镜面、寵曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。
无阴影效应：光从四面八方照射到样品，激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域，共焦容易解决。
高分辨率：理论上波长可以一直细分下去，理想镜头具有相当高的分辨率。
温度稳定性好：镜头本身不发热，温度漂移小。对于微米以及亚微米测量，温漂是关键。
自动聚焦：在量程范围内，被测物的位置上下变动吋都有相应的波长的光聚焦到物体表面。
横向分辨率高：从上到下总是在焦点上，测量光斑均微小，能分辨被测物上的微小轮廓变化。

模块化小型化：镜头和控制器可以通过光纤连接，传输距离远，镜头可以做得很小，便于并排安装。
调频抗干扰：波长是调频信号，对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。
透明材料厚度测量：当被测物透明且有两个表面，就会有两个波长的光返回得到厚度值。
全息性：理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息，部分光被遮挡影响小。
安全性高：寿命长的led光源，微小功率的白光，比激光对人眼安全，不受限于激光危害等级。
高防护：控制器高防护等级，光纤可提供不锈钢外套版本，防止虫害鼠咬。